本著作主要基于柔性铰链设计, 采用压电陶瓷驱动 (PZT) 作为驱动元件, 设计一种可微移动的柔性机械手, 包括微夹持机构和微纳定位平台, 主要应用于微纳加工和生物微操作中。本著作共分为六章: 第一章主要是介绍了研究意义和现状等。第二章提出了压电驱动柔性机构的设计过程, 包括新型二自由度微夹持器、新型压电驱动紧密型微夹持器、带有位移放大器的二自由度微纳定位平台和三自由度平移纳米微操作平台。第三章重点对机构进行了建模和分析, 包括基于柔度矩阵和伪刚体模型方法, 得出机构放大比和刚度模型。优化算法对机构的结构参数和性能进行了参数优化。第四章介绍了压电驱动柔性机构迟滞建模与补偿的一系列方法。第五章对柔性机构非线性系统的进行了实验研究。展开了一系列开环和闭环跟踪控制实验, 以评价所研制系统的跟踪性能和抓取目标的能力。最后, 第六章总结了研究期间的成果, 并对今后的工作进行了展望。