本书是“微机电系统”课程的配套教材，系统介绍了微机电系统的特点及应用前景、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统的组成、微机电系统的设计及测试，重点介绍了适合于微机电系统结构设计的柔顺机构和平面折展机构的分析和设计方法。各章末均附有复习思考题，便于学生掌握所学知识。本书为高等院校机械类专业的本科生教学用书，也可供相关专业的工程技术人员和研究人员参考。……………………………………………………………………………………………………………………