本书系统介绍电子束制备物理气相沉积硅的机理，从数值模拟角度提出氩气调控制备气相沉积硅的技术，分析气态硅迁移、沉积行为及气相沉积硅的微观结构，并通过研磨法制备纳米硅氧化硅颗粒。在此基础上，利用自组装法制备了纳米硅碳负极材料及硅碳石墨负极材料，分析其微观结构和物化状态，通过循环测试分析了电化学性能，并阐明硅烷偶联剂对纳米硅碳负极材料微观结构和电化学性能的影响。从微观结构和物相变化角度论述纳米硅碳负极材料嵌脱锂稳定性，阐明了纳米硅颗粒与碳层的破坏、Li15Si4合金生长的电极电位以及对嵌脱锂稳定性的影响。本书可供