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NEMS传感器的研制与应用 简介
本书通过涉及物理、化学、生物、材料、电子、机械等多门学科,讲述了利用纳米材料/结构表现出的独特的力、电、热、光、磁等性能进行新型纳传感器件的研究逐渐成为NEMS研究的一个热点。从纳米材料的新效应和新性质出发,可以实现新功能或突破常规器件的性能极限,实现具有新原理或高性能(如高灵敏度、低功耗、低噪声)的纳米器件和系统。
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