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蜂窝状压电式微机械超声波换能器设计及其应用研究 简介
本书共分为五章,内容包括:绪论、蜂窝状PMUT结构设计和特性分析、蜂窝状PMUT特性表征、蜂窝状PMUT应用研究、总结与展望。
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