随着半导体热电材料性能与热电器件效率的提升，热电发电系统未来很有可能替代传统瓦特时代的机械热机，成为新一代环保、高效、全固态的热能启动发电系统。 本书基于作者多年来从事热电薄膜所积累的创新科研成果，梳理了热电薄膜的微观结构设计与性能调控策略，总结了利用低维纳米结构提高材料热电性能的手段。 本书使用物理气相沉积方法构建纳米尺度的热电薄膜，以大量详实的第一手试验数据为依据，探索不同材料种类、厚度、加工条件对热电性能的影响，并建立了数学模型，通过调控相关参数实现热学/电学性能的可编辑，最终达到提升热电转换效率的目的。 本书的主要研究对象为Si基和Sb2Te3基多层薄膜以及Sb2Te3和Bi2Te3基薄膜。 同时，对热电薄膜的未来发展及应用提出了思考和展望，利于启发从事能量转换与利用的读者的创新思维。 本书可供希望了解更多有关高性能低维材料制备的研究人员、工程技术人员和高等院校相关专业的师生参考。