本书主要介绍了集成电路制造过程中不同工艺所用设备的组成结构及其零部件的归类, 其中大多数设备及其零部件均配有便于读者理解的结构图、原理图, 同时对这些零部件的归类税号归纳为表格形式, 便于读者查找。本书将归类中所应具备的商品知识与《中华人民共和国进出口税则》中的列目结构及归类原则有机结合起来, 帮助读者较好地理解商品归类的依据和结论, 书中介绍的制造工艺、设备的组成结构均为目前较为先进的工艺和结构。