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等离子体浸泡式离子注入与沉积技术 简介
本书主要内容包括PIIID技术发展概况、基础理论、PIIID设备关键部件设计、PIIID鞘层动力学计算机理论数值模拟与应用以及机械零件的PIIID复合等。并列题名： Plasma immersion ion implantation and deposition technique eng
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