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微机电系统封装

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微机电系统封装

作者:徐泰然 主编
出版社:清华大学出版社
ISBN:7-302-11952-X
出版年:2006

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微机电系统封装 简介
本书全面介绍了微机电系统和微系统的组装、封装与测试等实践和实用技术,内容涉及从基本实用技术到生命科学、电信以及航空工程等重要领域的许多应用。并列题名:MEMS packaging eng

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