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薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术

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薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术

作者:谷至华 编著
出版社:复旦大学出版社
ISBN:978-7-309-05655-6
出版年:2007

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薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术 简介
本具体介绍了:TFT-LCD生产线建设、技术管理系统、TFT阵列制造的主要设备、TFT制造工艺小结与技术展望等方面的内容。

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