《MEMS和微系统——设计与制造》7-111-13226-2.pdf-徐泰然 (美) (Hsu, Tai-Ran) 著-电子书下载-云上书馆

下载本书 下载格式： pdf格式 epub格式 接收邮箱(本功能测试中)： 分享给好友: MEMS和微系统——设计与制造; 作者：徐泰然 (美) (Hsu, Tai-Ran) 著; 出版社：机械工业出版社; ISBN：7-111-13226-2; 出版年：2004

MEMS和微系统——设计与制造简介

本书提供了对MEMS技术基础的深入观察，涉及MEMS的力学、物理和材料科学基础，讲解了微系统工程的基本原理，列举了MEMS及其在制造、通信、生物工程、运输和其他领域的应用。并列题名：MEMS & Microsystems - Design and Manufacture eng

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