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微光机电系统(MOEMS)

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微光机电系统(MOEMS)

作者:张文栋 编著
出版社:机械工业出版社
ISBN:7-111-19266-4
出版年:2006

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微光机电系统(MOEMS) 简介
本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术;重点介绍了各种MOEMS器件,包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。

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