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微纳传感器及其应用 简介
本书约32万字, 共分8章, 第一章对MEMS进行了概述, 简要介绍了MEMS技术的定义、基础理论、制造技术及应用; 其后的第二-七章分别以机械上微传感器、热微传感器、磁微传感器、光学传感器与辐射微传感器、化学微传感器与生物微传感器和声波微传感器为主题, 介绍了不同种类微传感器的原理及应用; 最后第八章介绍了一些传感器的应用实例。并列题名： Micro-nano sensors and applications eng
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