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纳米压印技术 简介
本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状; 然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等, 并着重阐述了纳米压印加工制造技术; 此外, 还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。
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