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集成电路工艺与设备

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集成电路工艺与设备

作者:
出版社:科学出版社
ISBN:
出版年:1972.05

10(已有人评分)

集成电路工艺与设备 简介
本书包括了:第一章扩散和外延设备、第二章真空系统、第三章光掩模、第四章金属化、划片和电路组装设备等。

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