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半导体材料国家标准汇编

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半导体材料国家标准汇编

作者:
出版社:中国标准出版社
ISBN:978-7-5066-9156-7
出版年:2023

10(已有人评分)

半导体材料国家标准汇编 简介
本书收集截至2022年8月底发布的有关国家标准74项,主要包括硅多晶、锗单晶、硅片和碳化硅等国家标准。具体内容包括:非本征半导体材料导电类型测试方法;硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法;半导体单晶晶向测定方法;硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法;硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法;硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法;硅多晶气氛区熔基磷检验方法;硅多晶真空区熔基硼检验方法;硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法等。

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