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聚焦离子束微纳加工技术

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聚焦离子束微纳加工技术

作者:顾文琪 著
出版社:北京工业大学出版社
ISBN:7-5639-1690-3
出版年:2006

10(已有人评分)

聚焦离子束微纳加工技术 简介
本书重点讲述聚焦离子束技术的原理;聚焦离子束系统的结构,包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等;还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。

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