本书系统介绍晶体学基础、电子衍射的物理基础、衍射成像、衬度理论、高分辨透射电子显微技术及透射电子显微镜、扫描电镜、扫描透射电镜、电子探针、背散射电子衍射仪的结构原理与应用; 介绍了用于表面分析的俄歇电子能谱、隧道显微镜、扫描透射电子显微镜、低能电子衍射、反射高能电子衍射 、电子能量损失谱等常用分析技术的原理、特点及其应用; 最后介绍了原子探针和中子衍射技术等。