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电子封装、微机电与微系统

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电子封装、微机电与微系统

作者:田文超 主编
出版社:西安电子科技大学出版社
ISBN:978-7-5606-6652-5
出版年:2022

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电子封装、微机电与微系统 简介
本书共三篇。第一篇为电子封装技术, 详细地介绍了电子封装技术的概念、封装的主要形式、封装材料、主要的封装技术、封装可靠性, 从机械、热学、电学、辐射、化学、电迁移等方面重点阐述了封装失效机理和失效模式, 同时介绍了MCM、硅通孔技术、叠层芯片封装技术、扇出型封装技术、倒装芯片技术等。第二篇为微机电技术, 系统地介绍了微机电技术的概念和应用、封装的特点、封装的形式以及气密性和真空度问题等, 同时阐述了压力传感器、加速度计、RF MEMS开关、智能穿戴设备等典型微机电器件的封装。第三篇为微系统技术, 基于前两篇基础, 系统地讲述了电子封装技术的发展趋势SoC、SiP、微系统和Chiplet技术, 利用大量图片、实例阐述电子封装的发展及其面临的问题, 此外还介绍了封装摩尔定律等。

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