TSV 3D RF integration:HR-Si interposer technology 简介
本书全面阐述面向三维射频异质集成应用的高阻硅TSV转接板技术, 包括设计、工艺、电学特性评估与优化等研究, 从TSV、共面波导传输线 (CPW) 等基本单元结构入手, 到集成无源元件 (IPD) 以及集成样机, 探讨金属化对高频特性的影响规律; 展示基于高阻硅TSV的集成电感、微带交指滤波器、天线等IPD元件; 详细介绍了2.5D集成四通道L波段接收组件、5-10GHz信道化变频接收机、集成微流道散热的2-6GHz GaN功率放大器模块等研究案例。本书也系统综述了高阻硅TSV三维射频集成技术的国内外研究进展, 并做了详细的对比分析与归纳总结。并列题名: TSV三维射频集成 chi
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