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激光热敏光刻:原理与方法 简介
本书首先对目前各种光刻技术的原理、方法和特点进行描述与分析比较；然后阐述激光热敏光刻的物理过程、仪器系统、光刻策略、用于超越光斑尺寸的纳米光刻、跨尺度光刻、宽波段光刻、分辨率极限光刻、灰度图形光刻，以及图形转移的方法和相应的实验结果及应用事例。并列题名： Laser thermo-sensitive lithography eng
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