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钼靶材及其薄膜制备技术 简介
本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手，研究了原材料及还原工艺对粉性能的影响和烧结的热变形行为，分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响，确定了钼靶材的制备工艺，实现了钼靶材的微观组织调控。并列题名： Preparation technology of molybdenum target and its thin film eng
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