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集成电路材料科学与工程基础

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集成电路材料科学与工程基础

作者:孙松 编著
出版社:科学出版社
ISBN:978-7-03-071423-7
出版年:2022

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集成电路材料科学与工程基础 简介
本书主要介绍材料化学方面的基础知识,包括材料的组成、材料的结构、材料的性能、材料的制备与成型加工,以及集成电路衬底、工艺和封装三大类材料与制备工艺。

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