本书较全面地介绍微电子技术领域的基础知识, 涵盖了半导体基础理论、集成电路设计方法及制造工艺等。全书共6章, 主要内容包括: 绪论、半导体物理基础、半导体器件物理基础、大规模集成电路基础、集成电路制造工艺、集成电路工艺仿真等。全书内容丰富翔实、理论分析全面透彻、概念讲解深入浅出, 各章末尾均列有习题和参考文献。本书提供配套的电子课件PPT、习题参考答案等。