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微机电系统 简介
全书分为6章, 分别介绍了MEMS发展历程, MEMS理论基础, MEMS基本工艺技术, MEMS设计技术, 以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面, 本书结合大量工艺实例, 易于学生理解, 有助于提高其动手能力; 对各种典型微机电器件的介绍, 大部分来源于实验室的课题研究实例, 内容充实新颖。
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