本书以简洁明了的结构向读者展现了半导体工艺中使用的设备基础和机制。全书涵盖了半导体制造设备的现状以及展望。同时也对清洗和干燥设备、离子注入设备、热处理设备、光刻设备、蚀刻设备、成膜设备、CMP设备、检测和分析设备、后段制程设备等设备逐章进行解说。虽然包含了很多生涩的词汇, 但难能可贵的是全书提供了丰富的图片和表格帮助读者进行理解。这作为本书的一大特色一定能带你进入一个半导体制造设备的立体世界。