本书主要介绍了碳化硅 (SiC) 传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分, 共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性; 第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程, 总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展; 第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。