本书内容系统介绍了各种精密加工方法，将超精密微加工法和表面加工方法的基础原理和技术做了融合。全书共分为十一章，主要介绍了激光束加工方法、电子束加工方法、离子束加工方法、其他粒子束加工方法、化学刻蚀法、放电加工等基本方法；并介绍了精密加工所涉及的主要表面处理技术，包括表面处理沉淀法、离子束表面处理法、溅射法、化学气相沉积法和精密镀等。本书对传统的加工方法进行了精选，去掉了繁冗的细节，保留了必要的理论基础，并增加了微纳加工技术新工艺及其发展趋势。