本书包含微纳电子学科/产业的发展历史及规律、纳米低功耗集成电路新器件新结构及其机制、IC/SOC设计及EDA技术、纳米集成电路与系统芯片制造技术、Sip封装及测试、化合物半导体、功率器件与集成技术、MEMS/NEMS等10个专题，详细分析了微纳电子学各领域的发展现状和态势，以及我国微纳电子学各分支学科的未来发展战略，并在此基础上对我国微纳电子学未来发展提出了针对性的政策建议或保障措施。