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现代PVD表面工程技术及应用

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现代PVD表面工程技术及应用

作者:张而耕 编著
出版社:科学出版社
ISBN:978-7-03-037714-2
出版年:2013

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现代PVD表面工程技术及应用 简介
本书全面阐述了PVD(物理气相沉积)涂层的发展历史、技术原理、工艺流程及工程应用。全书共7章,内容包括:PVD涂层的研究进展、PVD技术原理、PVD涂层技术工艺、PVD涂层的结构与性能、PVD涂层的化学成分控制、PVD涂层的质量控制等。

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