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MEMS传感器接口ASIC集成技术 简介
本书分析了MEMS传感器集成化技术的发展现状与趋势,论述了微加速度计、微机械陀螺、磁传感器、压力传感器、微传声器(麦克风)、热红外传感器等接口ASIC的原理、设计及应用,讲述了MEMS传感器接口电路中的降噪、补偿、自检测等技术,并对目前国际上MEMS集成传感器的典型产品与应用进行了介绍。分集: MEMS与微系统系列 并列题名: ASIC technology of mems sensor interface eng
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