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MEMS传感器接口ASIC集成技术

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MEMS传感器接口ASIC集成技术

作者:刘晓为 著
出版社:国防工业出版社
ISBN:978-7-118-08515-0
出版年:2013

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MEMS传感器接口ASIC集成技术 简介
本书分析了MEMS传感器集成化技术的发展现状与趋势,论述了微加速度计、微机械陀螺、磁传感器、压力传感器、微传声器(麦克风)、热红外传感器等接口ASIC的原理、设计及应用,讲述了MEMS传感器接口电路中的降噪、补偿、自检测等技术,并对目前国际上MEMS集成传感器的典型产品与应用进行了介绍。分集:MEMS与微系统系列并列题名:ASIC technology of mems sensor interface eng

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