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MEMS光纤声压传感器技术 简介
本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行测试。并列题名： Fiber acoutics sensors based on MEMS eng 并列题名： Fiber acoustics sensors based on MEMS eng
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