《纳米加工技术与原理》978-7-118-12322-7.pdf-斯捷潘诺娃 (加) (Stepanova, Maria)-电子书下载-云上书馆

下载本书 下载格式： pdf格式 epub格式 接收邮箱(本功能测试中)： 分享给好友: 纳米加工技术与原理; 作者：斯捷潘诺娃 (加) (Stepanova, Maria); 出版社：国防工业出版社; ISBN：978-7-118-12322-7; 出版年：2021

纳米加工技术与原理简介

本书介绍了当前几种典型的非CMOS纳米加工技术及其原理。具体内容包括电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能、纳米压印技术、原子层沉积纳米技术等。并列题名：Nanofabrication: techniques and principles eng

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