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薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论 简介
本书从线弹性压电理论出发，详细介绍两种适用于FBAR结构振动分析的二维近似理论，即基于幂级数展开法的高阶板理论及基于小扰动假设的二维标量微分方程理论。通过介绍这两种近似方法的应用，探讨FBAR结构振动分析中的一系列常见问题，包括模态耦合效应的基本规律、能陷效应及其应用、寄生模态的特征分析及抑制等。并列题名： Two-dimensional vibration theory for structural analysis of film bulk acoustic resonators eng
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