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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

作者:张新宇 著
出版社:国防工业出版社
ISBN:978-7-118-12284-8
出版年:2021

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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用 简介
本书主要内容包括: 折射和衍射微光学变换, 准连续相位分布的衍射微光学结构, 适用于毫米级近场的衍射微光学结构, 可见光、红外线以及多谱光学强度图像, 复杂波前基础理论 ; 衍射微光学结构的设计与仿真, 单步光刻和两步法KOH湿法蚀刻, 微光学图像, 波前结构的设计与工艺、测试与评估等 ; 宽频激光对抗条件下的非相干成像探测, 强度图像与复杂波前出射的基本方法 ; 激光图像发射、静态或动态图像与波前仿真环境构建, 图像隐身、基于频谱空间分离的成像探测对抗等。

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