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硅微机械振动陀螺 简介
本书介绍了静电驱动式硅微机械振动陀螺和旋转载体驱动式硅微机械振动陀螺的工作原理, 并着重对旋转载体驱动式硅微机械振动脱落的研制进行了深入介绍。对静电驱动式和旋转载体驱动式两种硅微机械振动陀螺的动力学模型进行分析, 求解得到其运动方程。在此基础上, 着重对旋转载体驱动式硅微机械振动陀螺完整的制作工艺和信号处理等方面进行了介绍。该陀螺作为一种特殊的陀螺, 专用于敏感旋转载体的横滚或俯仰角速度, 如旋转弹等。最后分析了电路的温度特性。
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