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真空镀膜技术与设备 简介
本书阐述了各种真空镀膜技术的基本概念、工作原理和应用，真空镀膜结构及蒸发源，磁控靶的设计计算，薄膜厚度的测量技术，薄膜与表面分析和检测技术；重点介绍了近年来出现的一些镀膜新方法与技术，以及真空镀膜机设计计算等方面的内容。
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