本书较全面地介绍了有关薄膜材料制备技术的基础知识结年来薄膜材料制备领域的展，并融入了编著者多年来从事薄膜材料研究中所取得的成果。主要介绍了薄膜材料的基本概念、特征，并扼要介绍了薄膜材料的物性和结构的分析方法。讨论了制备薄膜材料的物理气相沉积技术和化学气相沉积技术的基本原理和方法括蒸发、溅射、离子束、脉冲激光和等离子体化学气相沉积技术。并列题名：Introduction to thin film materials and technology eng