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洁净室的检测与运行管理 简介
本书共14章, 内容包括: 洁净室及相关受控环境的检测类别与项目; 洁净室及相关受控环境的风量、压差等基础测试项目; 空气中悬浮粒子的测试; 检测仪器、仪表与操作方法; 微生物污染控制与微生物检测等。并列题名： Testing and running managementfor cleanroom eng
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