本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用, 注重理论与实践的结合, 包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工, 以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用, 重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势, 在科学研究中的创新性应用与要注意的问题, 以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。