本书梳理了热电薄膜的微观结构设计与性能调控策略，总结了利用低维纳米结构提高材料热电性能的手段。本书使用物理气相沉积方法构建纳米尺度的热电薄膜，以大量第一手试验数据为依据，探索不同材料种类、厚度、加工条件对热电性能的影响，并建立了数学模型，通过调控相关参数实现热学/电学性能的可编辑，最终达到提升热电转换效率的目的。本书主要研究对象为Si基和Sb2Te3基多层薄膜以及Sb2Te3和Bi2Te3基薄膜。同时，对热电薄膜的未来发展及应用提出了思考和展望。