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微机电系统原理 简介
本书通过一种统一的方法和微观力学问题的解析解 (封闭形式解) 阐述了MEMS的原理。全书以概述MEMS开始, 并介绍了量纲分析, 提供了在宏观和微观世界中存在的基本无量纲参数。然后说明了微制造, 给出了设计实际MEMS的一般制造工艺相关的知识。提供了元件和系统的理论模型, 并获得了静态和动态响应的解析解。
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