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精密光学元件先进测量与评价 简介
本书主要针对精密光学元件检测原理与技术进行了全面、详细的介绍, 并且追踪了最新的科技前沿技术的原理与应用, 紧扣实际应用需求, 对检测过程中的关键技术进行了研究。首先对光学元件的质量评价标准做了详细的介绍, 包括表面面形误差评价标准、亚表面损伤的评价以及光学元件均匀性的评价。之后, 对干涉检测原理与国际上前沿技术进行了介绍, 特别是相移干涉技术、动态干涉技术等。
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