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集成电路制造技术教程 简介
本课程教学内容讲授现代集成电路制造基础工艺, 重点阐述核心及关键制造工艺的基本原理。教学内容共分为十六章节。本书内容丰富、文字简练、图文并茂、结合实际, 较为详尽地阐述了当代集成电路制造领域的核心知识点。并列题名： Manufacture technology course of integrated circuit eng
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