《MEMS材料与工艺手册》978-7-5641-4053-3.pdf-格迪斯著-电子书下载-云上书馆

下载本书 下载格式： pdf格式 epub格式 接收邮箱(本功能测试中)： 分享给好友: MEMS材料与工艺手册; 作者：格迪斯著; 出版社：东南大学出版社; ISBN：978-7-5641-4053-3; 出版年：2014

MEMS材料与工艺手册简介

微机电系统 (MEMS) 技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

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