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ESD物理与器件

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ESD物理与器件

作者:沃尔德曼 著
出版社:机械工业出版社
ISBN:978-7-111-47139-4
出版年:2014

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ESD物理与器件 简介
本书系统地介绍了静电放电 (ESD) 物理理论及器件设计, 并给出了大量实例, 将ESD理论工程化。本书主要内容有: ESD中的静电及热电物理学理论及模型, ESD用半导体器件物理及结构, ESD中衬底、阱、隔离结构, 电介质、互连及SOI等相关技术及应用。

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