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真空镀膜原理与技术 简介
本书阐述了真空镀膜的应用, 以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程, 探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法, 包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用。
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