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真空镀膜技术与设备

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真空镀膜技术与设备

作者:张以忱
出版社:冶金工业出版社
ISBN:9787502466381
出版年:2014/7/1

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真空镀膜技术与设备 简介
      《真空镀膜技术与设备/普通高等教育“十二五”规划教材》系统阐述了各种真空镀膜技术的基本概念、工作原理和应用,真空镀膜机结构及蒸发源,磁控靶的设计计算,薄膜厚度的测量技术,薄膜与表面分析和检测技术;重点介绍了近年来出现的一些镀膜新方法与技术,以及真空镀膜机设计计算等方面的内容。

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