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光学非球面镜制造中的面形测量技术

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光学非球面镜制造中的面形测量技术

作者:李圣怡
出版社:国防科技大学出版社
ISBN:9787567301252
出版年:2016/9/1

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光学非球面镜制造中的面形测量技术 简介
本书介绍了为配合光学非球面的加工,对加工过程中的面形进行测量的基础理论与工艺,包括:直角坐标和摆臂式极坐标测量,基于非零位干涉法的子孔径拼接测量,光学非球面镜相位恢复车位测量等三种方法。最后还描述了我们在光学镜面制造中亚表面质量检测与保障方面的研究成果。

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