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半导体材料及器件辐射缺陷与表征方法

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半导体材料及器件辐射缺陷与表征方法

作者:李兴冀等编著
出版社:哈尔滨工业大学出版社
ISBN:9787576705447
出版年:2023/7/1

10(已有人评分)

半导体材料及器件辐射缺陷与表征方法 简介
全书共分为4章,系统阐述了辐射诱导半导体缺陷的相关理论、数值模拟方法、表征技术及应用。空间辐射诱导缺陷是导致电子元器件性能退化的重要原因,然而辐射诱导缺陷的形成、演化和性质与半导体材料本身物理属性、器件类型及结构密切相关。

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